本发明提供一种过渡金属氧化物电催化剂及其制备方法和应用,方法包括以下步骤:将基底进行前处理;将经处理后的基底放入PE‑ALD腔体中,设置PE‑ALD程序,通入载气,控制沉积在预定温度下进行,将加热的过渡金属源与加热的氧源依次导入PE‑ALD腔体中,在基底表面进行循环沉积;沉积结束后,将PE‑ALD腔体降至室温,得到过渡金属氧化物电催化剂。本发明通过利用PE‑ALD方法,并调控循环过程中前驱体物料比制备了一种原子级平整且缺陷可调的电催化剂。所述电催化剂在原子级范围内可调缺陷,从而具有优良的电催化性能,进而使得含该电催化剂的锂空气电池的充放电极化程度得到有效地降低,容量、循环稳定性得到大幅提升。
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