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基于相位检测的单片集成光学加速度计

815   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:22:08
本发明公开了一种基于相位检测的单片集成光学加速度计。包括宽谱光源、模斑转换器、光电探测器、单向隔离器、2:1型和1:2型Y波导、弹簧振子结构、上中下电极、波导反射镜、铌酸锂单晶薄膜层、二氧化硅缓冲层、硅衬底、制冷片、磁力反馈模块、封装外壳；弹簧振子结构位于1:2型Y波导的两分支端之间，上电极和下电极位于1:2型Y波导两分支外侧，中电极位于弹簧振子结构的质量块的上表面；光经过模斑转换器耦合进2:1型Y波导后经单向隔离器进入1:2型Y波导实现分光，两束光由波导反射镜反射，耦合进入2:1型Y波导分支后直接耦合进入光电探测器中。本发明探测精度高，体积小，制作工艺简单，具有高的可靠性和环境适应性。
声明：
“基于相位检测的单片集成光学加速度计” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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