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固态反射型体声波谐振器及其制备方法

911   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:18:35
本发明提供一种固态反射型体声波谐振器的制备方法，包括如下步骤：取经过离子注入的压电材料，并在所述压电材料的注入面下方和/或所述衬底上方生长反射层，然后取衬底，将所述衬底与所述压电材料键合；将得到的键合后的中间产物进行热处理，使所述压电材料的薄膜剥离，再在所述压电材料的剥离后的一侧生长上电极，即得。本发明所述的固态反射型体声波谐振器的制备方法，使用晶圆键合转移技术制备高质量单晶铌酸锂薄膜，结合反射层结构能够制备结构强度高且性能优异的谐振器。
声明：
“固态反射型体声波谐振器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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