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提高声表面波滤波器耐受功率的方法

792   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:05
本发明公开了一种提高声表面波滤波器耐受功率的方法,采用42°钽酸锂压电基片,电信号激励的声表面波在此基片表面传播;在压电基片上蒸镀过渡层;在过渡层上蒸镀组合合金膜的电极层。过渡层的形貌与所述电极层的形貌一致,用以提高金属电极的附着力。电极层设计叉指换能器的电极形貌,激励和接收声表面波信号,用以实现滤波功能。解决了在大功率信号长时间通过声表面波滤波器时,因高温或金属迁移而引起的器件失效的问题,该方法制备的声表面波带通滤波器的功率耐受性得到显著提高。
声明:
“提高声表面波滤波器耐受功率的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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