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利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法

732   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:13:42
本发明公开的利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法，主要包括将石墨烯通过转移基底放置在原子层沉积装置的支撑架上，利用玻璃金属转换件内氟化剂的蒸发进入原子层沉积装置的腔体，并使得石墨烯吸附氟原子，实现氟化石墨烯的可控制备。该方法工艺流程完全可控，操作简单方便，特别适合于氟化石墨烯的大规模工业化生产，制备的氟化石墨烯在纳米电子器件、润滑材料、大容量锂电池等领域具有广泛的应用前景。
声明：
“利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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