本发明涉及在
电化学装置中具有高离子导电性的真空沉积的固态电解质层,和用于制造所述电解质层的方法和工具。电化学装置可包括固态电解质,所述固态电解质具有所并入的过渡金属氧化物、硅、氧化硅或将诱导电解质堆叠的离子导电性增加的其他适当材料(例如,能够插入锂的材料)或其混合物的薄层和/或颗粒。预期固态电解质的离子导电性的提高与所并入的层的数目或电解质内颗粒的分布均匀性和密度的函数成比例。本发明的实施方式适用于广泛范围的电化学装置中的固态电解质,所述电化学装置包括薄膜电池、电致变色装置和超级电容器。固态电解质层可为标称无针孔的。
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