本发明提供一种倍半硅氧烷化合物的制造方法,其具有使下述通式(I)所示的化合物与下述通式(II)所示的化合物发生反应的工序,从而制造下述通式(III)所示的倍半硅氧烷化合物。下述通式(I)~(III)中,R
1及R
2各自独立地表示氢、碳数为1~8的烷基、碳数为6~14的芳基、氨基烷基、含氨基基团、含腈基基团、含乙烯基基团、含(甲基)丙烯酰基基团、含氯基基团、含溴基基团、或含有三氟化硼络合物化氨基的官能团,R
3~R
10各自独立地表示碳数为1~8的烷基或碳数为6~14的芳基,M表示选自氢、锂、钠、及钾中的至少1种元素。
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