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LI掺杂ZNO陶瓷靶材制备工艺

887   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:38:17
一种LI掺杂ZNO陶瓷靶材制备工艺,属于陶瓷靶材制备技术领域。工艺为:将硝酸锌、硝酸锂、尿素和甘氨酸混合均匀后放入烧杯中,注入去离子水并搅拌至原料全部溶解,将溶液加热转入蒸发皿直至燃烧反应发生,合成LI掺杂的ZNO粉体。将该粉体研磨,然后装入放电等离子烧结炉中烧结,所得产品为LI掺杂ZNO陶瓷靶材。本发明的优点在于:原料便宜易得,工艺周期短,所得的靶材纯度高,掺杂均匀,在LI元素在ZNO晶格中的位置为替代ZN的位置,实现ZNO的受主掺杂,利用该陶瓷靶有益于LI掺杂P型ZNO薄膜的制备。
声明：
“LI掺杂ZNO陶瓷靶材制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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