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弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:29:36
提供一种在其他弹性波滤波器中不易产生高阶模式所引起的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)在由硅构成的支承基板(2)上层叠有氧化硅膜(3)以及由钽酸锂构成的压电体(4)以及IDT电极(5)，关于由钽酸锂构成的压电体的波长标准化膜厚TLT、欧拉角的θLT、氧化硅膜(3)的波长标准化膜厚TS、换算为铝的厚度的IDT电极(5)的波长标准化膜厚TE、支承基板(2)的传播取向ψSi、支承基板(2)的波长标准化膜厚TSi的值，设定TLT、θLT、TS、TE、ψSi，使得关于第1、第2以及第3高阶模式的响应之中的至少一个响应由下述的式(1)表示的与高阶模式的响应的强度对应的Ih大于‑2.4，且TSi＞20。[数学式1]
声明：
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