本发明公开了一种三倍频紫外激光器,上述三倍频紫外激光器包括光连接的种子源、激光放大器及三倍频模块,种子源为增益开关皮秒种子源;激光放大器为光连接的多级放大器;三倍频模块在光路上依次包括聚焦透镜、二倍频晶体及其加热炉、三倍频晶体及其加热炉、紫外光分离器和准直器,其中聚焦透镜、二倍频晶体及其加热炉、三倍频晶体及其加热炉共轴设置,二倍频晶体为一类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体,三倍频晶体为二类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体。按照本发明实现的三倍频紫外激光器,产生的种子光重复频率可调,脉宽可调,且为皮秒量级,并且是单模、线偏振光,经放大和三倍频后,紫外激光的特征与种子光一致,功率可达35W,效率高达50%。
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