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在非线性铁电基板上制作畴反转结构的方法和装置

628   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:22:40
一种晶体极化装置具有一个单畴铁电基板(例如掺杂氧化镁的铌酸锂基板)、样本架、高压电源、电晕炬、气体源、腔室及至少一个真空泵。在基板的第一个面上形成具有一定结构(例如周期性光栅)的电极,在样品架的顶部设置有带有面朝下的电极的基板。电极接地以使该电极区域形成高电场,该高电场是由于基板的第二个面上的电晕炬产生的电荷形成所导致的。而基板的第二个面上的电荷分布受高压电源和气体源的控制。为了使晶体极化达到最优化,利用温度控制器来设置基板的温度,并且使用真空泵使基板第一个面上的电极绝缘。
声明：
“在非线性铁电基板上制作畴反转结构的方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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