一种大范围高线性度调频激光器,包括:反射型半导体光放大器,MEMS光开关阵列,模斑转换器,薄膜铌酸锂光栅阵列。本发明采用RSOA提供增益,结合MEMS光开关对具有不同中心频率的薄膜铌酸锂光栅的选择,实现大范围频率调节。通过在铌酸锂光栅上施加电场来实现小范围内的高线性度频率扫描。本发明对工艺不敏感,具有很好的工业和商业应用前景。
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