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热释电红外探测单元及制造方法及其热释电红外探测器

835   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:19:16
本发明实施例公开了一种热释电探测单元，包括：陶瓷衬底；钽酸锂晶片；下电极层，形成在钽酸锂晶片的第一表面上，并且由多孔黑金金属薄膜形成并与陶瓷衬底接触；上电极层，形成在钽酸锂晶片的第二表面上，并且由黑金金属薄膜形成；过渡层，形成在上电极层上；介质层，形成在过渡层上；吸收层，形成在介质层上。本发明的实施例中，下电极层是多孔的结构，具有较大的孔率，因此热传导率较低，可以降低热损失。因此该热释电探测器可以较多的吸收红外辐射及太赫兹辐射，具有较小的热损失，从而提高了热释电探测器的性能。
声明：
“热释电红外探测单元及制造方法及其热释电红外探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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