合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法

用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法

572   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:11:37
本发明公开了一种用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法，高质量铌酸锂波导在量子通信中至关重要，波导质量决定了芯片的质量，进而影响在量子通信中的传输量与传输速度，选用铌酸锂晶圆为衬底，在其正Z面沉积铬层、旋涂光刻胶，后经光刻、铬腐蚀在铌酸锂晶圆上得到波导图形，再经质子交换、刻蚀等工艺过程，得到高质量波导，光刻胶厚度控制在600‑700nm；氢离子与锂离子进行交换，质子源为配比4270：1的苯甲酸与苯甲酸锂熔融态，质子交换炉温度170℃、时间10‑24h；湿法刻蚀过程中，1：2.5氢氟酸和硝酸刻蚀液，16‑20℃的刻蚀温度。本发明采用的刻蚀工艺方法，使得展宽精准控制、刻蚀速率稳定、波导表面光滑、传输损耗低。
声明：
“用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：基于PAF材料的准固态聚合物电解质及其制备方法
下一个：石榴石电解质的表面改性方法及其应用

与 “用于量子通信中波导的刻蚀工艺方法” 相关技术

▪ 多工位化工粉碎机
▪ 银纳米线批量制备技术
▪ 气体净化膜可控制备及应用关键技术
▪ 高氯高酸重金属废酸的离子交换膜电解新技术
▪ 工艺矿物自动检测新技术合作研究与应用
▪ 稀土荧光粉废料综合利用技术
▪ 铝合金分析用便携式金相显微镜
▪ 工程质量检测用钢筋反向弯曲试验机
▪ 用于振动筛粉机的出料口开关机构
▪ 用于再充式电池组的硅基固体电解质

相关加工设备推荐

锂电池生产中正负极材料输送气动隔膜泵
高真空管式炉制样台
低氧高纯钛棒
高纯锌
双机头搅拌摩擦焊设备
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪多工位化工粉碎机
▪银纳米线批量制备技术
▪气体净化膜可控制备及应用关键技术
▪高氯高酸重金属废酸的离子交换膜电解新技术
▪工艺矿物自动检测新技术合作研究与应用
▪稀土荧光粉废料综合利用技术
▪铝合金分析用便携式金相显微镜
▪工程质量检测用钢筋反向弯曲试验机
▪用于振动筛粉机的出料口开关机构
▪用于再充式电池组的硅基固体电解质

报名参会
更多+

第六届中国有色金属资源循环与绿色发展大会
第六届中国有色金属资源循环与绿色发展大会
2024年07月17日 ~ 19日
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024胶凝材料制备与应用技术交流会
2024年08月07日 ~ 09日
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024先进陶瓷材料制备加工与应用交流会
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:206
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:117
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:109
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
7 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
8 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记