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高速集成可调光延时线与制备方法

780   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:05:36
本发明公开了一种高速集成可调光延时线与制备方法，其衬底材料为硅材料，波导材料为氮化硅光波导和铌酸锂光波导，铌酸锂材料为薄膜材料，其结构包括2×2光开关、每阶的延时线和2×1的合波器；2×2光开关由氮化硅光波导、多模干涉耦合器、铌酸锂光波导和开关电极组成；每阶的延时线包含两条不同长度的延时路径，通过光开关切换选择不同的波导路径，从而进行延时状态的切换，实现不同的延时量。本发明通过将氮化硅光波导和铌酸锂光波导结合，延时波导部分采用氮化硅，充分利用氮化硅光波导的低损耗，开关波导部分采用铌酸锂，充分利用铌酸锂光波导光电效应开关的高速；采用基于BCB的键合工艺，工艺更加灵活，不需要使用化学机械抛光工艺。
声明：
“高速集成可调光延时线与制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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