本发明公开了一种高速集成可调光延时线与制备方法,其衬底材料为硅材料,波导材料为氮化硅光波导和铌酸锂光波导,铌酸锂材料为薄膜材料,其结构包括2×2光开关、每阶的延时线和2×1的合波器;2×2光开关由氮化硅光波导、多模干涉耦合器、铌酸锂光波导和开关电极组成;每阶的延时线包含两条不同长度的延时路径,通过光开关切换选择不同的波导路径,从而进行延时状态的切换,实现不同的延时量。本发明通过将氮化硅光波导和铌酸锂光波导结合,延时波导部分采用氮化硅,充分利用氮化硅光波导的低损耗,开关波导部分采用铌酸锂,充分利用铌酸锂光波导光电效应开关的高速;采用基于BCB的键合工艺,工艺更加灵活,不需要使用化学机械抛光工艺。
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