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形成旋转溅射靶的方法

693   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:00:31
一种溅射靶组件，通过溅射靶体和背衬支撑件的相对定位来形成，使得所述背衬支撑件被放置在所述溅射靶体的内径内。利用包围所述靶体的感应加热器对该组合体进行加热，使得达到用于结合的合适温度。加热被中断，使得结合的材料冷却并且在所述溅射靶体与所述背衬支撑件之间建立结合关系。实施例包括在感应加热器与内部的靶体之间添加导电层，所述导电层以导电织物套的形式，该靶体以在结合期间增强轴向和径向梯度加热的方式被感应加热。所述导电套可以与以LiMO2(例如LiCoO2)靶体的形式的低导电材料一起使用。还可以在所述靶体周围放置非粘性的保护套，诸如放置在所述导电套与所述靶体之间。
声明：
“形成旋转溅射靶的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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