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在镓酸锂衬底上外延生长的非极性GaN薄膜

769   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:57:45
本实用新型公开了一种在镓酸锂衬底上外延生长的非极性GaN薄膜，它包括LiGaO2衬底, 依次生长在LiGaO2衬底上的GaN缓冲层、GaN薄膜；所述LiGaO2衬底以(100)面偏(110)方向0.2-1°为外延面。本实用新型的GaN薄膜具有缺陷密度低、结晶质量好等特点，可广泛应用于LED、LD、太阳能电池等领域。
声明：
“在镓酸锂衬底上外延生长的非极性GaN薄膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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