本申请公开了一种六氟磷酸锂制备过程中废气的处理装置,该装置包括:冷媒换热器,具有一废气入口和一废气出口,该废气入口连通于废气输送管道;水洗塔,连通于所述冷媒换热器的废气出口。本实用新型通过两步法对废气进行处理,首先采用冷凝手段对废气中份氟化氢进行分离,分离后的氟化氢可以作为原料重复使用;其次采用水吸收方式吸收氯化氢并形成盐酸,获得的盐酸可以重复利用。
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