本实用新型公开了一种钽酸锂晶体基片的黑化处理装置,包括热处理炉、电控箱、支撑座,所述支撑座内设置有还原气体存储罐,所述还原气体存储罐一端设置有进气管,所述还原气体存储罐另外一端设置有出气管,所述进气管外侧设置有调速阀,所述进气管一端设置有所述热处理炉,所述热处理炉上方设置有
真空泵,所述热处理炉一端设置有炉门,所述热处理炉另外一端设置有所述出气管,所述热处理炉内部设置有压强传感器,所述压强传感器一侧设置有温度检测器,所述温度检测器下方设置有坩埚,所述坩埚内设置有金属片。有益效果在于:本实用新型结构简单,操作方便,能够自动调节保持炉内温度,控制精度高,还原气体循环使用,节约了成本。
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