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基于铌酸锂薄膜的宽带低相噪集成光生微波源芯片及系统

642   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 22:10:48
本申请提供一种基于铌酸锂薄膜的宽带低相噪集成光生微波源芯片，包括设置在铌酸锂薄膜上的铌酸锂光波导；铌酸锂光波导包括模斑转换波导、第一直波导、第一弯曲波导、第一Y分支波导、第二Y分支波导；第一Y分支波导与第二Y分支波导之间并联有第四直波导和第五直波导；第四直波导上连接有第一光学微腔波导；第五直波导上连接有第二光学微腔波导；模斑转换波导、第一直波导和第一金属电极共同形成相位调制器；第四直波导、第一光学微腔波导和第二金属电极共同形成高Q微谐振器；第五直波导、第二光学微腔波导和第三金属电极共同形成低Q微谐振器。本申请有利于实现光生微波源的小型化和工程化。
声明：
“基于铌酸锂薄膜的宽带低相噪集成光生微波源芯片及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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