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钴酸锂高密度旋转靶材

1005   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:58:30
本实用新型公开了一种高密度钴酸锂旋转靶材，包括由外至内依次设置的高温烧结而成的高密度钴酸锂旋转圆柱靶管、邦定层和刚性芯杆，所述靶管和刚性芯杆通过所述邦定层浇铸粘接在所述刚性芯杆上，所述靶管成分为LiCoO2，密度为4.95g/cm3，相对密度不小于95％，厚度为5-15mm, 所述邦定层为熔点低于350℃的金属，所述刚性芯杆为金属芯杆，本实用新型解决了现有平面钴酸锂靶材利用率低，喷涂靶密度低及其性能不良的问题。
声明：
“钴酸锂高密度旋转靶材” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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