本发明涉及多层结构锂金属电极及其制造方法,具体地,涉及包含如下的多层结构锂金属电极:在锂金属板上形成的氮化锂(Li3N)的缓冲层;和在所述缓冲层上形成的LiBON的保护层,并且涉及多层结构锂金属电极的制造方法,所述方法通过利用连续的反应性溅射,在锂金属板上连续形成氮化锂缓冲层和LiBON保护层而进行。通过形成所述保护层,本发明的多层结构锂金属电极可以保护锂金属的反应性免受水分或电池内环境的损害,并且防止枝晶的形成。另外,缓冲层的形成防止由在保护层形成过程中在锂金属板上形成的氧化物层引起的离子传导性的劣化。
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