本发明公开了非对称微型锂离子电容及其制作方法,属于微能源和微机械加工领域。非对称微型锂离子电容的结构:在器件衬底上方依次设置正极复合层和负极复合层,正极复合层和负极复合层在水平方向上呈间隔排列,之间存在光刻胶隔膜。复合层结构为金属电流收集层和引出层和电极依次安装在器件衬底上;正负电极分别由正极复合电极材料和负极复合电极材料形成插指型电极结构;非对称微型锂离子电容的制作方法:器件两电极采用基于不同机理的电极材料,正极为双电层材料,负极为锂离子
电池材料,利用隔膜结构,实现不同材料的分开填充成型,同时对器件负极电池电极进行预锂化过程。本发明制备的非对称微型锂离子电容能量密度高,具有良好输出功率能力。
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