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遮蔽装置及补锂设备

738   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:29:40
本发明涉及一种遮蔽装置及补锂设备，遮蔽装置包括驱动组件和环形遮蔽片，环形遮蔽片包括遮蔽片主体和遮蔽部，遮蔽片主体设有补锂开口，遮蔽部位于补锂开口内；环形遮蔽片与驱动组件连接，驱动组件用于驱动环形遮蔽片运动，以使遮蔽部在靶材安装机构与基片之间的区域与基片同步运动，且遮蔽部的正投影至少部分位于基片上，以用于在补锂时使基片上形成电极区和留白区。该遮蔽装置在使用时，环形遮蔽片可与基片的收放卷装置同步运转，使遮蔽部在靶材安装机构与基片之间的区域与基片同步运动，遮蔽部与基片相对静止，从而在补锂区间内持续对基片上的特定区域进行遮蔽，确保基片的电极区可以有效进行溅射，而防止被遮蔽的区域镀膜，从而形成留白区。
声明：
“遮蔽装置及补锂设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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