一种在铌酸锂基片上同时制备波导及光栅的方法,通过在铌酸锂中进行钛扩散或质子交换改变铌酸锂的折射率,在铌酸锂基片上实现波导及光栅一体化制备。本发明的优点是:该制备方法简单,易于实现,制备的波导光栅精度较高,波导光栅可一次成型,实验操作方便,光栅结构和周期可根据需要做相应的调整,并且利用该方法制备波导光栅成本低廉,有着广阔的应用前景。
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