本发明公开了一种溶胶凝胶法制备高浓度钽酸锂薄膜的方法,其步骤如下:(1)将无水乙酸锂溶于高溶解度的溶剂中,加热并磁力搅拌至乙酸锂完全溶解;(2)在大气环境中,按Li+与Ta5+的摩尔比准确加入乙醇钽,磁力搅拌至前驱体充分反应,得到棕黄色透明胶体;(3)采用旋涂法制备湿膜;(4)在大气通氧气氛下热处理使薄膜干燥并结晶;(5)重复(3)和(4)至得到所需厚度的钽酸锂结晶薄膜。本方法克服了目前溶胶凝胶法制备钽酸锂薄膜时需要惰性气体保护、绝对干燥等严苛的实验要求,解决了前驱体浓度过低的问题,大大降低旋涂与热处理次数,可制备均匀、平整、致密、热释电性能良好的钽酸锂纳米结晶薄膜。
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