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二氧化硅波导与铌酸锂薄膜垂直耦合的谐振式集成光学陀螺

846   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:03:49
本发明公开了一种二氧化硅波导与铌酸锂薄膜垂直耦合的谐振式集成光学陀螺，包括：基底晶片、下包层、二氧化硅波导环圈、二氧化硅直波导、上包层、铌酸锂薄膜、电光移频器光学波导、电光移频器金属电极、铌酸锂直条光学波导，可将铌酸锂薄膜光学波导中经过电光移频的光波沿垂直方向耦合导入二氧化硅波导环圈中进行角速度测量，将二氧化硅波导环圈低传输损耗、低弯曲损耗的特点与铌酸锂晶体的电光移频功能相结合，既克服了基于二氧化硅波导的集成光学陀螺难以制作集成光学移频器的难题，也解决了基于铌酸锂波导的集成光学陀螺中波导环圈弯曲损耗过大、环圈半径过大的问题，提升了谐振式集成光学陀螺的集成度和实用化价值，适于实现批量生产。
声明：
“二氧化硅波导与铌酸锂薄膜垂直耦合的谐振式集成光学陀螺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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