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铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法

616   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:48:33
本发明涉及光学器件技术领域，尤其涉及一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法，包括基底以及位于所述基底上的波导层，所述基底采用铌酸锂晶体，所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向，在所述基底上制备波导层采用的是光刻工艺。所制备的光波导性能优良，损耗小，能够在各种光学研究中起到良好的作用，对钛扩散后的铌酸锂晶体采用富锂气相输运平衡处理，达到近化学计量比（NS，[Li]/[Nb]>99%）。近化学计量比铌酸锂晶体具有很多更加优异的性能：晶体缺陷少，光学均匀性好，具有更强的电光和非线性效应。钛扩散光波导具有波导性能优良，且损耗较小等优点。
声明：
“铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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