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钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法

784   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:28:05
本发明提出了一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器及制备方法，采用磁控溅射法、旋涂法和水热法相结合，通过调控旋涂钛酸锶钡纳米颗粒的尺寸和分散性来实现对二氧化钛薄膜表面的修饰。在FTO衬底上用磁控溅射法制备二氧化钛籽晶层，用水热法在有籽晶层上制备二氧化钛薄膜，再采用旋涂法将预先用水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒旋涂在二氧化钛薄膜的表面，每步制备后进行退火处理，最后用磁控溅射法在其表面制备金属铂电极。经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜室温下氢气探测的灵敏度显著提高。本发明制备成本低，方法简单易操作，制得的氢气传感器在室温下对氢气探测灵敏度高，重复性好，稳定性好，可广泛应用于氢气新能源领域。
声明：
“钛酸锶钡纳米颗粒修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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