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沉积源蒸发设备

991   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:45:21
公开了一种沉积源蒸发设备。该沉积源蒸发设备包括：坩埚组，用于容纳沉积源；喷射单元，位于坩埚组上；加热器，位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。
声明：
“沉积源蒸发设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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