加工聚苯乙烯、
石墨烯纳米复合微结构阵列装置,包括激光发生器、真空腔、载物台、紫外滤光镜和气体流量控制单元;载物台以可拆卸固定的方式安装于真空腔内的底部,真空腔具有开启和密闭的通道;紫外滤光镜安装于真空腔,激光发生器发射激光透过紫外滤光镜照射到位于真空腔中的载物台,载物台用于放置待加工物;气体流量控制单元连通于真空腔,气体流量控制单元用于控制进入到真空腔中的气体;真空腔通过真空腔夹具固定安装于三轴精密运动平台。针对当前难以加工聚苯乙烯、石墨烯纳米
复合材料微结构阵列的问题,本发明的目的在于提出一种加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合微结构阵列装置。
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“加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合微结构阵列的方法与装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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