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单晶提拉用晶种保持器及使用该装置的硅单晶的制造方法

575   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:36:24
本发明提供一种能够防止晶种内的应力集中的单晶提拉用晶种保持器以及使用该晶种保持器的安全且可靠性高的硅单晶的制造方法。晶种保持器（1）由碳纤维强化碳复合材料构成，且为具有与大致棒状的晶种（9）的外形相符的形状的空心部（10h）的大致圆筒状部件，至少与晶种（9）的外周面接触的部分的碳纤维（10f）的方向具有周向成分，从空心部（10h）的中心轴（Z）观察时具有各向同性。
声明：
“单晶提拉用晶种保持器及使用该装置的硅单晶的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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