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化学气相沉积法制备同轴碳化硅/二氧化硅纳米电缆的方法

965   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:32:06
本发明涉及一种化学气相沉积法制备同轴碳化硅/二氧化硅纳米电缆的方法，将浸泡后的碳/碳复合材料置于在沉积炉，抽真空再通氩气至常压，然后向装有甲基三氯硅烷的鼓泡瓶中通入载气氢气，将反应气源甲基三氯硅烷带入炉堂内，同时通入稀释氩气及稀释氢气进入反应。本发明合成工艺简单，不需要预先合成工艺；碳化硅/二氧化硅（内芯/外层）同轴纳米电缆在常压下制得，对设备的要求低；沉积温度较低，降低了制备成本；此外，还有一个突出的特点是可以通过调整沉积工艺参数有效控制碳化硅/二氧化硅（内芯/外层）同轴纳米电缆的纯度和均匀性。这些优点让大规模工业生产碳化硅/二氧化硅（内芯/外层）同轴纳米电缆成为可能。
声明：
“化学气相沉积法制备同轴碳化硅/二氧化硅纳米电缆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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