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绝缘基板、绝缘电路基板及其制造方法以及半导体装置

618   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:32:06
本发明提供一种放热特性优异、且冷热循环负载时能够抑制热应力作用于半导体元件的绝缘基板、使用该绝缘基板的绝缘电路基板和半导体装置、以及绝缘基板的制造方法和绝缘电路基板的制造方法。一种绝缘基板(10)，包括金属基复合材料构成的基板主体(11)、以及形成在该基板主体(11)的一面上的绝缘被膜(15)，其特征在于，基板主体(11)从室温至200℃的热膨胀系数设定为10×10-6/℃以下，热传导率设定为190W/(m·K)以上，抗弯强度设定为30MPa以上，绝缘被膜(15)通过使绝缘性材料构成的粉末碰撞到基板主体(11)的一面上而形成。
声明：
“绝缘基板、绝缘电路基板及其制造方法以及半导体装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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