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在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法

769   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:31:30
一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法,首先通过光学光刻技术结合光刻胶热回流的方法制备得到具有微凸透镜阵列结构母版,由此母版复制得到具有凹透镜阵列结构的PDMS软模板,以此PDMS软模板做为母版二次复制得到具有凸透镜阵列结构的PDMS软模板,最后通过紫外软压印光刻技术在二氧化钛基有机-无机光敏复合薄膜上制备得到凹透镜阵列结构。最终得到的凹透镜阵列结构的尺寸可以通过母版图形尺寸来调节,凹透镜阵列结构的基本光学参数可通过调节光敏复合材料的折射率等实现,特别是本发明具有制作快速,低成本,高精度,可批量生产,是一种制备凹透镜阵列结构的有效方法。
声明:
“在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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