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研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法

745   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:28:51
提供研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法。研磨处理用载体由包括取向为至少一个方向的纤维和树脂材料的复合材料形成，并具有在由上平板和下平板夹持圆板状的基板而对所述基板的一对主表面进行研磨处理时用于保持所述基板的保持孔。所述保持孔在所述保持孔的内周壁面的周上具有以在所述保持孔保持所述基板的状态下使所述基板与所述纤维接触的方式构成的第1壁部和以在所述保持孔保持所述基板的状态下使该基板不与所述纤维接触的方式构成的第2壁部。所述第2壁部形成于所述内周壁面中的朝向包括所述一个方向的所述纤维的取向方向的部分。
声明：
“研磨或磨削处理用载体及其制造方法、基板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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