本发明涉及一种新型的复合金属诱导制备以及催化处理
石墨烯获得石墨烯网格结构,利用该网格结构制备石墨烯晶体管,属于
纳米材料微电子领域。其技术特征在于:采用复合金属薄膜,利用化学气相沉积法生长石墨烯,石墨烯层数为1-20,采用小孔模板衍射辅助氧化钛光催化方法,获得石墨烯网格结构,利用该网格结构作为沟道层,制备石墨烯场效应管晶体管。本发明工艺简单,过程易控制,导电性能优异,制备成本低,适合于低维
复合材料及微纳电子领域。
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