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双回路双碳源快速定向气相沉积方法

856   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:18:50
本发明公开了一种双回路双碳源快速定向气相沉积方法,其特征在于,采用双碳源气体通过双回路实现定向流动形成稳定的温度场和热流场,促进热解碳快速沉积至预制体内部,实现了预制体的高效致密,提高了炭基复合材料的密度及均匀性;依次包括预制体前处理、一次气相沉积、高温纯化、机械加工和二次气相沉积步骤。本发明公开的双回路双碳源快速定向气相沉积方法沉积周期短,碳源利用率高,制成的炭基复合材料致密度高,密度及均匀性好。
声明:
“双回路双碳源快速定向气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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