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氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘

632   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:17:31
一种氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘，其构成是 在盘基础上依次镀有第二保护层、氧化铂掩膜层和第一保护 层，所述的第一保护层和第二保护层均是由硫化锌∶二氧化硅 ＝80∶20的复合材料构成的薄膜层；所述的氧化铂中的含 O2量由溅射过程中 O2/(O2+Ar)的分压比例决定，分压比的取值范围为0.1～0.4。所 述的氧化铂掩膜层是由厚度为15－80nm的纳米氧化铂薄膜 层。本发明氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘具有稳定性好、信 噪比更高和更好的读出循环性。
声明：
“氧化铂作掩膜的只读超分辨光盘” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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