BC⼤光斑激光开膜设备:
采用海目星自研光源激光技术作为底层架构,利用通过激光在电池表面对掩膜进行刻蚀,利用该技术实现高效背接触电池(XBC)的图形化生产,实现替代传统光刻技术,快速、低损、高效去膜。
产品优势:
整机采用工业 PC 控制、模块化柔性化编程设计;
设备实现双线供上/下料,操作方便;
满足 AGV 双层双线同步上/下料,减少 AGV 对接需求及机台数量 ;
根据客户需求定制,实现无损、高产能、高精度、高效率 ;
高精度视觉定位,高速柔性机构传输 ;
加工过程,硅片自动传输 快速、低损、高效去膜;
除尘结构内部流场的最优解,对粉尘携带能力强;
高精准性以防止电池漏电,降低成本;
更细小的电池单位结构,更小的金属接触开孔和更灵活的设计;
基本信息:
运行模式:离线
设备尺寸(长×宽×高mm):5500*3000*2550(不包含三色灯,除尘机,冷水机)
适用硅片尺寸(mm):182*182-230*230
适用硅片厚度(um):≥110um
上下料方式:手动上下料/AGV上下料
产品性能:
图形精度:±15um
对准精度:≤±15um@182@mark点;≤±25um@182@轮廓
设备产能:>4000pcs/h
碎片率:≤0.03%