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基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法

1030   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:07:01
本发明涉及一种基于梯度蒸发模具的CVD‑TaxHf1‑xC固溶体涂层的制备方法，将C/C基体悬挂于化学气相沉积炉中；将前驱体HfCl4和TaCl5粉料放置于蒸发容器内,并置于化学气相沉积炉的低温挥发区；将化学气相沉积炉抽真空至5Kpa，并且关闭阀门以及真空泵后保压通入氩气；加热两步，第一步以7℃/min加热到900℃，第二步程序以6℃/min加热到1100～1250℃，使炉腔在氩气保护下升温至预设温度；沉积完成后挺直通入氢气和甲烷，继续通入氩气对炉腔进行清洗和降温，使炉体自然冷却，得到带有TaxHf1‑xC固溶体涂层的C/C复合材料。本发明的制备工艺简单易操作，制备周期短，能够适用于形状复杂的复合材料构件，深化了TaxHf1‑xC固溶体陶瓷其在超高温材料领域中的应用。
声明：
“基于梯度蒸发模具的CVD-TaxHf1-xC固溶体涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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