本发明公开了一种疏松薄壁的气敏元件及其制备方法,该气敏元件包括具有疏松薄壁结构的金属氧化物气敏
复合材料和基底;其中,气敏复合材料为贵金属掺杂的、均匀分布的纳米颗粒。本发明制备该气敏元件的方法包括:对模板进行预处理后,放入前驱液中进行三步浸渍;再依次经过清洗、干燥、烧结处理,制得疏松薄壁结构的金属氧化物气敏复合材料;最后将其涂覆于基底表面,并进行老化处理,制得具有疏松薄壁结构的金属氧化物气敏元件。本发明还公开了一种制备疏松薄壁的气敏元件的方法,其工艺简单,通过改变复合物的种类、调控纳米颗粒的尺寸、选择不同的模板来获得具有优良性能的气敏元件,制得的疏松薄壁气敏元件能对待测气体表现出高的灵敏度。
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