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具有圆柱各向异性热导率的复合装置

946   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:53:49
提供了一种用于在加工室中支撑基底和调节该基底表面温度的设备及其制造方法。该设备包括基座，其具有用于支撑所述基底的表面，和用于加热该基底的加热器，并且该加热器紧邻该基座布置。该基座是由复合材料制成的，其包含植入基质中的多个导热弓形元件，该多个导热弓形元件的每个是同心排列的，并且在径向上限定了预定的间隔，以使得所述复合材料在该基座的圆柱坐标系中，在径向(ρ)，方位角和轴向(z)方向上提供各向异性热导率。
声明：
“具有圆柱各向异性热导率的复合装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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