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形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料

745   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 16:45:43
本发明公开了一种形成金属玻璃镀膜的靶材,在基材上溅镀形成组成是ZraKbMcNd的金属玻璃镀膜,其中,K、M、N选自于VB族、VIB族、VIIIA族、IB族、IIIA族,或IVA族中的元素,任二者的原子半径百分比不小于15%,a、b、c、d表原子组成百分比,30≤a≤77,11≤b≤50,4≤c≤15,4≤d≤10,靶材具有多数成扇形拼成圆盘状或长方形连续排列的镀膜材料单元,每一镀膜材料单元具有四条分别由锆、K、M、N四金属元素构成的元素分条,且所有元素分条的锆、K、M、N数量比与金属玻璃镀膜成溅镀产生比例关系。
声明:
“形成金属玻璃镀膜的靶材及该靶材形成的复合材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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