本发明公开了一种原位自生
碳纳米管改性硅碳氮陶瓷基
复合材料的制备方法,用于解决现有CVD/CVI方法中CNTs和SiCN陶瓷基体不能同步生成的技术问题。技术方案是采用化学气相沉积/化学气相渗透工艺,分别以SiCl4、SiHCl3或CH3SiCl3作硅源,CH4或C3H6作碳源,NH3作氮源,H2作鼓泡载气和还原气体,Ar作稀释气体,通过添加Fe(NO3)3·9H2O、Co(NO3)2·6H2O或Ni(NO3)2·6H2O等金属盐催化剂,利用由金属盐还原产生的Fe、Co、Ni纳米颗粒捕获Si-C-N体系中存在的大量游离态碳原子,进而达到了在基底材料上同步合成CNTs和SiCN陶瓷基体的目的。
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