权利要求
1.钼钛合金靶材的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削加工方法包括： 采用铣削刀具对钼钛合金靶材的待加工面进行铣削处理；所述铣削处理过程中使用的切削液的折光读数为12-15； 所述铣削刀具的型号为R245-18T6M-PM1010。2.根据权利要求1所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削刀具的前角为12-15°。 3.根据权利要求1或2所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削刀具的表面涂覆有TiAlN涂层。 4.根据权利要求1-3任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削处理的切削速度为138-142m/min。 5.根据权利要求1-4任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削处理的进给量为150-300mm/min。 6.根据权利要求1-5任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削处理的吃刀量为0.2-0.3mm。 7.根据权利要求1-6任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述钼钛合金靶材的硬度为380-400HV。 8.根据权利要求1-7任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液。 9.根据权利要求8所述的铣削加工方法，其特征在于，所述油基切削液包括动物油、植物油或矿物油中的任意一种或至少两种的组合； 优选地，所述水基切削液包括乳化液和/或合成液。 10.根据权利要求1-9任一项所述的铣削加工方法，其特征在于，所述铣削加工方法包括： 采用铣削刀具对钼钛合金靶材的待加工面进行铣削处理；所述铣削处理过程中使用的切削液的折光读数为12-15；所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液； 所述铣削刀具的型号为R245-18T6M-PM1010；所述铣削刀具的前角为12-15°；所述铣削刀具的表面涂覆有TiAlN涂层； 所述铣削处理的切削速度为138-142m/min，进给量为150-300mm/min，吃刀量为0.2-0.3mm； 所述钼钛合金靶材的硬度为380-400HV。
说明书
钼钛合金靶材的铣削加工方法
技术领域
本发明属于磁控溅射技术领域，涉及一种靶材的铣削加工方法，具体涉及一种钼钛合金靶材的铣削加工方法。
声明：
“钼钛合金靶材的铣削加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：宁波江丰电子材料股份有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
