合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 复合材料技术

> 用于填充垂直硅通孔TSV的复合材料及其填充方法

用于填充垂直硅通孔TSV的复合材料及其填充方法

957   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:18:02
本发明公开了一种用于填充垂直硅通孔TSV的复合材料及其填充方法，其中该复合材料主要由金刚石和铜组成，金刚石的直径小于1um,该金刚石为单晶金刚石或掺硼金刚石；填充方法是预先在TSV通孔内溅射粘附层、阻挡层、种子层，通过复合电沉积方法沉积复合材料，再通过通电使金属铜原子顺着电流方向附着沉积至填满TSV孔，从而在硅圆片上形成完整填充的复合材料层。本发明通过对该复合材料关键的内部组成及结构，相应填充方法关键的整体工艺流程设计、以及各个步骤的条件及参数进行改进，以特定的复合材料作为通孔填充材料，并且利用特定的填充方法，可提高TSV的可靠性并有效降低其失效率，有效避免填充缺陷。
声明：
“用于填充垂直硅通孔TSV的复合材料及其填充方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
复合材料
上一个：金属结构破孔损伤复合材料粘接修理方法
下一个：MXene诱导生长的纳米氧化铁复合材料、制备方法及其应用

与 “用于填充垂直硅通孔TSV的复合材料及其填充方法” 相关技术

▪ 南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪ 上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪ 大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪ 中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪ 西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪ 转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪ 重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪ 将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪ 有色金属压延加工技术
▪ 铜冶炼渣的选矿技术和难点

相关复合材料设备推荐

WP32L WP25L WP18L 船用压缩机组合阀
UHPC超高性能混凝土搅拌机
动力电池注液机
低氧高纯钛晶体
立轴行星式搅拌机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪有色金属压延加工技术
▪铜冶炼渣的选矿技术和难点

报名参会
更多+

2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:224
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:114
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记