合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 功能材料技术

> 挡圈及晶片研磨装置

挡圈及晶片研磨装置

957   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本发明的挡圈(23),在将晶片(W)推压到旋转的研磨垫(11)上对所述晶片(W)的表面进行研磨时,不使所述晶片(W)脱离地对其周缘部进行保持,具有:将所述晶片(W)的周围包围、并与所述研磨垫(11)抵接的第1环(23a) 配置在该第1环(23a)的径向外侧并与所述研磨垫(11)抵接、耐磨损性比所述第1环(23a)高的环状的第2环(23b)。能提供可防止在晶片的周缘部发生外周塌角的长寿命的挡圈。
声明:
“挡圈及晶片研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
功能材料
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记