本发明的挡圈(23),在将晶片(W)推压到旋转的研磨垫(11)上对所述晶片(W)的表面进行研磨时,不使所述晶片(W)脱离地对其周缘部进行保持,具有:将所述晶片(W)的周围包围、并与所述研磨垫(11)抵接的第1环(23a) 配置在该第1环(23a)的径向外侧并与所述研磨垫(11)抵接、耐磨损性比所述第1环(23a)高的环状的第2环(23b)。能提供可防止在晶片的周缘部发生外周塌角的长寿命的挡圈。
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