本发明涉及柔性电子器件技术领域,尤其涉及一种无机柔性阻变存储器及其制备方法。本发明提供的无机柔性阻变存储器具有更好的弯曲特性,不同弯曲半径和弯曲次数下器件的高阻态、低阻态较为稳定,能够有效地缓解弯曲形变对功能层材料存储性能的影响;所述无机柔性阻变存储器的开关比大、置位电压较低且无需Forming过程,可以保证器件正常工作且满足低功耗的要求;所述无机柔性阻变存储器具有较好的热稳定性,在85℃条件下器件的高、低阻态可以稳定保持10
5s左右不变,脉冲模式下对器件连续进行10
7次开关操作后高、低阻态比值仍在10
2以上,可以保证器件正常工作且不会发生误读现象。
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