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基于阿基米德螺线微通道无阀压电泵的MEMS流体陀螺

902   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明涉及一种基于阿基米德螺线微通道无阀压电泵的MEMS流体陀螺，包括上盖和下盖以及微腔，微腔内的容纳有第一压电振子，还包括利用MEMS工艺成型在上盖或下盖上的第一平面阿基米德螺线微通道和第一连通微通道，该第一平面阿基米德螺线微通道的两端分别连接有微腔和流体进口，该流体进口的另一端连接有第一微流管，第一连通微通道的两端分别连接微腔和流体出口，流体出口的另一端连接有第二微流管，该流体进口与流体出口均设于上盖或下盖上，第一微流管与第二微流管远离流体进口的一端均设置有压电单元，压电单元通过导线与用于测量压电单元的电荷变化量的传感器单元连接。本发明结构简单，成本低廉，尺寸较小，适用范围广，易于实现和大规模量产。
声明：
“基于阿基米德螺线微通道无阀压电泵的MEMS流体陀螺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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